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硬质合金模具的三极和四极溅射：
三极溅射是在二极溅射的装置上附加一个电极，使放出热电子强化放电。它既能使溅射速率有所提高，又能使溅射工况的控制更为方便。这种溅射方法还是不能仰制由靶产生的高速电子对基片的轰击，还存在因灯丝具有不纯物而使膜层沾污等问题。
